电子厂车间净化工程
电子车间净化工程-对半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、LEDLCD、SMT等电子产品工艺要求,电子车间净化级别从 10级,100级,1000级,万级。净化的程度也直接影响了电子产品的质量。
电子厂净化工程是电子工业厂房建造不可缺少的一部分,也是对生产环境的一种改善。
电子厂洁净车间内应设置局部排风罩和局部送风系统。当采用自然通风时,必须设有机械通风设施。
对于无尘室内的换气次数一般要求为:人均每小时换气5次以上;人均每小时新风量30立方米以上;每人每小时换风量10立方米以上;每平方米允许噪声强度85分贝以下(a计权);温湿度波动小;光照度适宜等等。
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌。
等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
电子净化厂注意要点:防止灰尘、防静电、防止负压;
集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料 生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容、电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件生产(传感器、执行机构)等。微电子工业是当前对洁净室要求较高工业洁净业-如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有洁净度的要求。
电子洁净车间一般要求洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级(小于3.5个),1000级(小于35个),10000级(小于350个),100000级(小于3500个)。
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